因高新技术产品在加工生产过程中，需要满足加工的精密化，产品的微型化和高纯度(高质量)，所以对无尘车间有更高的要求。本文笔者将结合自身对于无尘车间的了解，以及近期上海CEIDI西递总包承建的多个高科技产业无尘车间设计案例，跟大家说说浙江高科技产业园区无尘车间的规划设计方案。

　　由于各行业间差距较大，且要求不同，因此布局、控制环境的内容均会有所差异，下文主要谈的是集成电路无尘车间的规划设计。

　　车间须将洁净区、人员净化、物料净化和其他辅助用房进行分区布置，同时考虑生产操作、工艺设备安装和维修、气流组织型式、管线布置以及净化空气调节系统等各种技术设施的综合协调效果。规划时还要注意人员疏散的路线，做到通畅、少曲线、简洁明了、步步安全（着火房间房间门疏散走道楼梯间室外），忌与扑救线个或以上的可供人员疏散方向，方向须利于人员的疏散逃生。

　　根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合高效送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。建议集成电路无尘车间使用FFU循环系统，其不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，能更好地满足高科技行业的需求。

　　为了让排风效果更好，工艺设备局部排风系统不宜过大，且每个排风系统的排风点数不宜过多。一个排风系统不能跨在两个或两个以上的净化空调系统。混合后产生剧毒、爆炸、、凝水、结晶和有害物的排风，使用规律不同房间和设备的排风均不能合为一个排风系统。

　　随着集成电路制造技术的不断升级，国内不少主流大厂都已经进入了纳米时代，集成电路制造业的无尘车间设计也需要不断创新。在CEIDI西递的官网上，还有不少关于无尘车间设计与建设的相关知识，企业若有疑问，可进入官网了解。CEIDI西递是专注于洁净工程领域的EPC集成服务商，有十二年的净化工程经验，在全国范围内尤其是江浙沪区域，为不同领域、不同行业的客户提供先进、优质、合理、经济的洁净工程和完善的技术服务，在该领域的经验丰富。

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